Spritzenbeschichtungs-Maschine des Tantal-PVD, Tantalfilme niedergelegt durch spritzendes DC-Magnetron, PVD-Tantal-Überzug
Tantal ist in der elektronischen Industrie und als schützende Beschichtung in vielen Industrien wegen seines guten Widerstands zur Abnutzung am weitverbreitetsten.
Gespritzte Tantalfilme sind in weitverbreitet
1. können Mikroelektronikindustrie, während die Filme reaktiv gespritzt werden können und folglich Widerstandskraft- und Temperaturkoeffizient Widerstand gesteuert werden;
2. Medizinische Instrumente wie Körperimplantate für sein in hohem Grade biocompatability Eigentum;
3. Beschichtungen auf korrosionsbeständigen Teilen, wie thermowells, Ventilkörpern und Befestigern;
Gespritztes Tantal kann als effektive Korrosionswiderstandsgrenze verwendet werden auch sollen, wenn die Beschichtung kontinuierlich ist, defectected und ist am Substrat soll sich schützen anhaftend.
Technische Vorteile RTAS1000
1. Integriertes Einsteckkonstruktionssystem für schnelle Installation
2. Siemens PLC, CPU; mit industrieller PC-Operations- u. -steuer-Hardware
3. Verfügbar für Fernüberwachung und Diagnose.
4. flexibel, bereiten Sie für die Höhereinstufung vor
5. Mehrfache Kathoden für schnelle Absetzungsgeschwindigkeit
Mehr Nutzen von der Maschine:
Robuster Entwurf, stabile Qualität, schneller Zyklus, schnelle Zyklus-Zeit, hohe Absetzungsgeschwindigkeit
Hauptkonfigurationen | |
MODELL | RTAS1000 |
TECHNOLOGIE | Spritzendes DC-Magnetron + kathodischer Bogenüberzug |
KAMMER-MATERIAL | Edelstahl (S304) |
KAMMER-GRÖSSE | Φ1000*1000mm (H) |
KAMMER-ART | D-Form, zylinderförmige Kammer |
ROTATIONS-GESTELL U. SPANNVORRICHTUNGS-SYSTEM | Satellitenfahren oder zentrales Ansteuersystem |
STROMVERSORGUNG | DC Spritzenstromversorgung: 2~4 Sätze beeinflussen Stromversorgung: 1 gesetzte Bogen-Stromversorgung: 11 Sätze |
ABSETZUNGS-MATERIAL | Ti/Cr/TiAl, Ta, Au, AG, Cu etc. |
ABSETZUNGS-QUELLE |
Planare Spritzenkathoden + Kreisbogenkathoden Anmerkung: cylinderial DC spritzen ist verfügbar |
STEUERUNG | PLC (programmierbarer Logik-Prüfer) + Touch Screen (halb-Selbstoperationsmodelle manual+ auto+) |
PUMPEN-SYSTEM | Dreh-Vane Pump: SV300B - 1 Satz (Leybold) |
Wurzeln pumpen: WAU1001 - 1 Satz (Leybold) | |
Halten der Pumpe: D60C - 1 Satz (Leybold) | |
Magnetische Suspendierungs-molekulare Pumpe: MAG2200 - 2 sest (Leybold) | |
GAS-MASSENSTROM-PRÜFER | 4 Kanäle, hergestellt in China, digitales Modell sieben Sternes (CS-Reihe,) (AR, N2, O2, C2H2) |
VAKUUMmessgerät | Modell: ZDF-X-LE, hergestellt in China |
SICHERHEITSSYSTEM | Zahlreiche Sicherheitsverriegelungen, zum von Betreibern und von equipmen zu schützen |
HEIZUNG | Heizungen: 20KW. Max. Temp.: 450℃ |
ABKÜHLEN | Industrieller Kühler (kaltes Wasser) |
ENERGIE-MAXIMUM. | 100KW (ca.) |
DURCHSCHNITTLICHE LEISTUNGSAUFNAHME | 45 Kilowatt (ca.) |
BRUTTOMASSE | T (ca.) |
FUSS-DRUCK | (L*W*H) 4000*4000 *3600 MILLIMETER |
ENERGIE ELEKTRISCH | Linie phases/50HZ/5 Wechselstroms 380V/3 |
Zylinderförmige Spritzenkathoden Planare Spritzenkathoden
Treten Sie mit uns bitte für mehr Spezifikationen, königliche Technologie wird geehrt, um Ihnen beschichtende Gesamtlösungen zur Verfügung zu stellen in Verbindung.
Laden Sie die Broschüre herunter, klicken Sie bitte hier: Magnetron-Spritzenabsetzung System.pdf
Magnetron-Spritzenabsetzungs-System applicatio…