Das Magnetron, das spritzt, ist weitverbreitet, refraktäre Metalle wie Tantal, Titan, Wolfram, Niobium, die hohe Temperaturen der Absetzung erfordern würden, und Edelmetalle niederzulegen: Gold und Silber und welches auch für Absetzung von unteren Schmelzpunktmetallen wie Kupfer, Aluminium, Nickel benutzt wird, Chrom etc.
Tantal wird höchst in der elektronischen Industrie als schützende Beschichtung wegen seines guten Widerstands zur Abnutzung benutzt.
Anwendungen des Dünnfilms Sputtered Tantals:
1. können Mikroelektronikindustrie, während die Filme reaktiv gespritzt werden können und folglich Widerstandskraft- und Temperaturkoeffizient Widerstand gesteuert werden;
Technische Vorteile
Tantalspritzenabsetzungssystem der königlichen Technologie standardisiertes:
Hauptkonfigurationen | |
MODELL | RTAS1000 |
TECHNOLOGIE |
Pulsiertes DC-Magnetronspritzen Kathodischer Bogenüberzug (für Wahl, bestimmt durch Beschichtungsverfahren) |
KAMMER-MATERIAL | Edelstahl (S304) |
KAMMER-GRÖSSE | Φ1000*1000mm (H) |
KAMMER-ART | D-Form, zylinderförmige Kammer |
ROTATIONS-GESTELL U. SPANNVORRICHTUNGS-SYSTEM | Satellitenfahren oder zentrales Ansteuersystem |
STROMVERSORGUNG |
DC Spritzenstromversorgung: 2~4 Sätze Ion Source: 1 Satz |
ABSETZUNGS-MATERIAL | Ta, Ti/Cr/TiAl, Au, AG, Cu etc. |
ABSETZUNGS-QUELLE | Planare Spritzenkathoden + Kreisbogenkathoden |
STEUERUNG | PLC (programmierbarer Logik-Prüfer) + IPC (halb-Selbstoperationsmodelle manual+ auto+) |
PUMPEN-SYSTEM | Dreh-Vane Pump: SV300B – 1 Satz (Leybold) |
Wurzeln pumpen: WAU1001 – 1 Satz (Leybold) | |
Halten der Pumpe: D60C – 1 Satz (Leybold) | |
Magnetische Suspendierungs-molekulare Pumpe: MAG2200 – 2 sest (Leybold) |
|
GAS-MASSENSTROM-PRÜFER | 2 Kanäle: AR und N2 |
VAKUUMmessgerät | Inficon oder Leybold |
SICHERHEITSSYSTEM | Zahlreiche Sicherheitsverriegelungen, zum von Betreibern und von equipmen zu schützen |
HEIZUNG | Heizungen: 20KW. Maximum Temp.: 450℃ |
ABKÜHLEN | Industrieller Kühler (kaltes Wasser) |
ENERGIE-MAXIMUM. | 100KW (ca.) |
DURCHSCHNITTLICHE LEISTUNGSAUFNAHME | 45 Kilowatt (ca.) |
BRUTTOMASSE | T (ca.) |
FUSS-DRUCK | (L*W*H) 4000*4000 *3600 MILLIMETER |
ELEKTRISCHE LEISTUNG |
Linie phases/50HZ/5 Wechselstroms 380V/3 |
Insite:
Aufgebaute Zeit: 2018
Standort: China
Treten Sie mit uns bitte für mehr Anwendungen und Spezifikationen in Verbindung.